微量氧分析仪通过外部电路的连接，反应中的电荷转移即电流的大小与参加反应的氧成正比例关系。仪器采用此方法进行测氧，可以不受被测气体中还原性气体的影响，免去了许多的样气处理系统。通过不同的方法完成气体浓度的测量。传感器可以非常稳定可靠的工作很长时间。燃料电池氧传感器是*免维护的。但是在使用过程中，需要经常校准，确保其测试的准确性。
微量氧分析仪在进行微量氧剖析时，由于空气中氧含量高达21%，故而假如处理不妥极易形成对样品的污染和搅扰，出现剖析成果数据不正常。以下是测验过程中需要留意的各个方面。
1.泄漏
氧剖析仪在初次启用前有必要严厉检漏。仪器只要在紧密不漏的前提下,才干取得精确数据成果。任何衔接点，焊点，阀门等处的不紧密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及仪器内部，然后得出含氧量偏高的成果。
2.污染
在重新运用仪器时，首要须留意在衔接取样管路时是否漏入空气。而且有必要仔细将漏入空气吹除洁净，尽量不使很多氧气通过传感器以延长传感器寿命。在管道体系净化过程中，为缩短净化时刻，需要有必定的方法，一般运用高压放气及小流量吹除替换进行可迅速净化管道。
3.气路体系的简化及洁净
微量剖析要求有必要有用扫除气路上的各种管件，阀门，表头等中的死角对样气形成的污染。因此，应尽或许简化气路体系，选用死角小的衔接件等。而且，避免运用水封，油封及腊封等设备，避免溶解氧逸出形成污染，更需避免在样气引出至仪器进口的管线上添加易形成污染的净化设备等。只要这样才干保证体系洁净，所得数据精确。
4.背景气的搅扰
如燃料电池式剖析仪，不同的主背景气，会影响剖析成果。而且少量的氢气也会对剖析成果发生较大的影响。关于样气中含有微量酸性气体的情况，只要特殊型式的赫兹电池式氧剖析仪才干扫除于扰，避免传感器中毒，给出正确剖析数据。其他燃料电池式氧剖析仪均不能用于酸性气体剖析。
5.管道原料的挑选
管道原料及表面粗糙度也将影响样气中氧含量的改变。一般不宜用塑料管，橡胶管等作为衔接管路。一般选用铜管或不锈钢管，对超微量剖析(指<0．1×10-4％)则有必要用抛光过的不锈钢管。
6.搅扰杂质的影响
微量氧分仪搅扰杂质主要指除背景气和待测组分外存在的少量不知道杂质，如燃料电池式微氧仪对酸性、氧化性气体灵敏，假如气体中含有酸性气体成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，则燃料池传感器易中毒失效。在检测时要充分考虑到杂质的存在，挑选恰当的剖析仪，才干得到精确的成果。
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