微量氧分析仪的原理主要有化学电池法、原电池法、燃料电池法、赫兹电池法和浓差电池法。而在进行微量氧剖析时，由于空气中氧含量高达21%，故而假如处理不妥极易形成对样品的污染和搅扰，出现剖析成果数据不正常。以下是测验过程中需要留意的各个方面。
1.泄漏
在初次启用前有必要严厉检漏。仪器只要在紧密不漏的前提下，才干取得精确数据成果。任何衔接点，焊点，阀门等处的不紧密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及仪器内部，然后得出含氧量偏高的成果。
2.污染
在重新运用仪器时，首要须留意在衔接取样管路时是否漏入空气。而且有必要仔细将漏入空气吹除洁净，尽量不使很多氧气通过传感器以延长传感器寿命。在管道体系净化过程中，为缩短净化时刻，需要有必定的方法，一般运用高压放气及小流量吹除替换进行可迅速净化管道。
3.气路体系的简化及洁净
微量剖析要求有必要有用扫除气路上的各种管件，阀门，表头等中的死角对样气形成的污染。因此，应尽或许简化气路体系，选用死角小的衔接件等。而且，避免运用水封，油封及腊封等设备，避免溶解氧逸出形成污染，更需避免在样气引出至仪器进口的管线上添加易形成污染的净化设备等。只要这样才干保证体系洁净，所得数据精确。
4.背景气的搅扰
如燃料电池式剖析仪，不同的主背景气（与背景气的摩尔质量有关），会影响剖析成果。而且少量的氢气也会对剖析成果发生较大的影响。
5.管道原料的挑选
管道原料及表面粗糙度也将影响样气中氧含量的改变。一般不宜用塑料管，橡胶管等作为衔接管路。一般选用铜管或不锈钢管，对超微量剖析(指<0．1×10-4％)则有必要用抛光过的不锈钢管。
6.搅扰杂质的影响
搅扰杂质主要指除背景气和待测组分外存在的少量不知道杂质，如燃料电池式微氧仪对酸性、氧化性气体灵敏，假如气体中含有酸性气体成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，则燃料池传感器易中毒失效。
仪器适用于如下领域：
1.空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自动分析。
2.电子行业保护性气体中氧含量分析。
3.磁性材料等高温烧结炉的保护性气体中氧含量分析。
4.玻璃、建材行业中氧含量分析及各种行业中氧含量分析。
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